マグネトロンカソード
マイクロ波の発振管「マグネトロン」における電子を閉じ込める効果がスパッタリングに応用され、
スパッタ成膜の低温高速化が実現したことにより、スパッタリング装置は飛躍的に発展しました。
以降約40年にわたり、マグネトロンスパッタリングカソードはスパッタ源の主流として広く用いられています。
(有)スパッタラボは、長年のカソード改良研究の成果を基にして、各種用途にマッチした
マグネトロンスパッタリングカソードをご提供いたします。
特徴及び仕様
| Model No. | ＭＣＡ－□ ※1 | ＭＣＢ－□ ※1 | ＭＣＣ－□ ※1 | |
|---|---|---|---|---|
| 特 徴 | 高性能タイプ ・低ガス圧動作 ・ワイドエロージョン |
汎用タイプ ・コストパフォーマンス 重視 |
コンパクトタイプ |
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| 仕 様 |
冷却方式 | 水冷 | ||
| 冷却流量 | 2L/min.以上 | |||
| 耐電圧 | ＤＣ：２ｋＶ ＲＦ：２ｋＶ（ＧＮＤに対するピーク値） |
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| 適合ターゲット材質 | 非磁性材料 | 非磁性材料 ※2 | ||
| 適合ターゲットサイズ ※3 | φ4"～φ12" | φ3"～φ8" | φ2.4" | |
| 動作圧力(Ar) Typical Value |
0.03～5Pa | 0.1～5Pa | 0.2～5Pa | |
※1 □の中にはターゲットサイズがインチ表示値で入ります。(例)MCC-2.4
※2 強磁性体材料にも対応可能です。詳しくはお問い合わせください。
※3 規格サイズ以外の形状・サイズにも対応可能です。詳しくはお問い合わせください。
放電特性
φ4インチAL放電特性例
φ6インチSiO2放電特性例
